光阻液 Photoresist


光阻液 Photoresist:微細圖形轉移的核心關鍵

提供半導體、光電及微機電 (MEMS) 製程所需的高品質光阻方案。具備卓越的附著力高解析度及良好的耐蝕刻性

正向光阻 (Positive) 負向光阻 (Negative)
  • 優異解析度:滿足微米 (μm) 至次微米級圖形定義需求。
  • 穩定塗佈性:優化的黏度分布,確保晶圓表面膜厚均勻性。
  • 廣泛應用:適用於 Lift-off 製程、電鍍及各類基材蝕刻。